GB-T 4937.26-2023 半导体器件 机械和气候试验方法 第26部分：静电放电 ESD 敏感度测试 人体模型 HBM

ICS 31.080.01 CCSL40 中华人民共和国国家标准 GB/T4937.26—2023/IEC60749-26:2018 半导体器件机械和气候试验方法第26部分：静电放电（ESD）敏感度测试人体模型（HBM) Semiconductor devices—Mechanical and climate test methods—Part 26: Electrostatic discharge(ESD)sensitivity testing—Human body model(HBM) (IEC60749-26:2018,IDT) 2023-09-07发布 2024-04-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T4937.26—2023/IEC 60749-26:2018 目次前言引言 IV 范围规范性引用文件术语和定义仪器和设备 4.1 波形确认设备 4.2 示波器 4.3 数字示波器的附加要求 4.4 电流传感器（感应电流探针） 4.5 评价负载 4.6 人体模型模拟器 4.7 HBM测试设备寄生特性 5应力测试设备验证和常规确认 5.1 HBM测试设备评价的一般要求 5.2 测试程序 5.3 HBM测试设备验证 5.4 插座式测试设备的测试夹具板验证 5.5 常规波形检查要求 5.6 高压放电路径检查 5.7 测试设备波形记录 5.8 安全分级程序， 6.1 器件分级 6.2 参数和功能测试 6.3 器件应力测试 6.4 引脚分类 6.5 引脚分组 6.6 引脚应力组合 6.7 低寄生模拟器的HBM应力 6.8 应力后测试失效判据· 器件分级·

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